各位,插播一条消息!
11月5日到10日,第九届进博会在上海开。中国馆里有个挺沉的东西——上海微电子(SMEE)把新一代前道干式光刻机SSC800、SSB800的剖视模型摆出来了。不是只放个外壳,是切开看光路、工件台、物料传输整套链路。
先捋硬信息。这两款机子走I-line和KrF两条路线,物镜、照明、双工件台、掩模台、对准传感全链条自主。关键零部件国产化率过90%,已经定型量产。多台设备在国内头部逻辑、存储产线跑着,累计流片超千万片,设备有效运行率92%以上。SMEE从2002年成立到现在,是国内少数能稳定交付前道干式光刻机的企业。
聊点我自己的看法。
光刻机这词前几年总被讲得很复杂,好像离生活很远。其实它直接决定手机、车规芯片、家电主控能不能自己造、自己迭代。以前KrF这一段,大家习惯看海外设备参数;现在国产机进量产线、跑通千万片,意义不是"终于有个样子",是产线愿意长期用、良率稳得住。
但别一口气说太满。这次展的是干式机,不是EUV,也不是浸没式高端线的最顶端。套刻精度、效率在追赶,但材料、光源寿命、软件闭环、产线适配还得靠时间磨。进博会亮出来,是阶段答卷,不是终点。
对普通人,这事儿靠谱的地方在于"不喊口号做实事":透明剖视模型、运行率数据、流片片数,都是能核的数字。比空泛的说法值钱。
对行业,接下来看三件事:一是零部件国产化率别只停留在样机阶段,要看备件体系和售后响应;二是客户别只"示范采购",要真把SMEE放进主力产线排班;三是上下游别各自为战,光学、运动控制、涂胶显影一起跑,单点强没用,系统稳才行。
芯片这件事,急不来,但也拖不得。上海这波展示,至少让人觉得:路是通的,步子是实的。
信息来源:上海证券报11月报道、进博会中国馆展陈信息、SMEE公开资料
