在光学测量领域，精度是衡量仪器性能的核心指标。浙江大学杨甬英教授团队历经17年研发的FIS4波前传感器，凭借卓越的性能表现，正成为国产高端光学测量仪器的新标杆。FIS4波前传感器通过与Zygo干涉仪的测量精度对比测试，全面验证了FIS4在多种相位板测量中的优异表现。

验证结果一览

测试选取了圆形台阶板、方形台阶板、连续相位板三种典型样品，分别使用Zygo与FIS4进行PV（峰谷值）与RMS（均方根值）测量，结果如下：

实测案例对比：FIS4 vs Zygo

测试一：圆形台阶板比对

利用Zygo干涉仪（波长632.8nm）对圆形台阶相位板进行测量，测量结果如图 1所示，从图中可知，其测量PV为0.113λ（换算长度单位为71.51nm），RMS为0.043λ（换算长度单位为27.21nm）。

图 1 圆形台阶相位板的Zygo测量数据

利用FIS4波前传感器进行测量后的结果如图 2所示，PV为73.03nm，RMS为24.64nm。

图 2 圆形台阶相位板的FIS4测量数据

结论：两者波前形貌高度一致，PV值偏差仅1.52nm，FIS4精准还原了样品的台阶特征。

测试二：方形台阶板比对

图 3 方形台阶相位板的Zygo测量数据

利用Zygo干涉仪（波长632.8nm）对方形台阶相位板进行测量，测量结果如图 3所示，从图中可知，其测量PV为0.109λ（换算长度单位为68.98nm），RMS为0.033λ（换算长度单位为20.88nm）。

利用FIS4波前传感器进行测量后的结果如图 4所示，PV为69.37nm，RMS为23.08nm。

图 4 方形台阶相位板的FIS4测量数据

结论：对于规则方形结构，FIS4展现出极致的边缘还原能力与面形精度，PV偏差低至0.39nm。

测试三：连续相位板比对

利用Zygo干涉仪（波长632.8nm）对连续相位板进行测量，测量结果如图 5所示，从图中可知，其测量PV为0.624λ（换算长度单位为394.87nm），RMS为0.169λ（换算长度单位为106.94nm）。

图 5 连续相位板的Zygo测量数据

利用FIS4波前传感器进行测量后的结果如图 6所示，PV为387.58nm，RMS为103.99nm。

图 6 连续相位板的FIS4测量数据

结论：面对复杂的连续非球面，FIS4同样能稳定捕捉其全局轮廓与局部细节，PV与RMS偏差均控制在合理范围内，可靠性得到验证。

PS：FIS4软件有一个相位反向的功能，测试结果所有特征轮廓、PV值、RMS值等核心数据完全一致，仅显示相位相反。

FIS4 核心优势

✅ 高精度测量，媲美国际品牌

FIS4在三种不同相位板的测试中，PV与RMS偏差均控制在纳米级别，尤其在方形台阶板上，PV偏差仅为0.39 nm，展现出与Zygo相媲美的测量精度。

✅ 适应性强，广泛适用多种样品

无论是规则形状（圆形、方形）还是复杂连续相位面，FIS4均能稳定输出可靠数据，且单光路设计抗振性能优异，适用于多样化的光学元件检测场景。

✅ 国产替代，性价比更优

作为国产高端光学传感器，FIS4在保持高精度的同时，具备更优的性价比，为国内科研与工业用户提供了可靠、经济的光学测量解决方案。

FIS4波前传感器以其卓越的测量精度、强大的适应能力和优异的性价比，正逐步成为光学测量领域的新标杆。如上对比图所示，其测量结果与国际顶尖设备高度吻合。无论是在研发阶段的质量控制，还是生产过程中的在线检测，FIS4都能提供可靠、精准的波前测量支持。