导读:日本落井下石,国产光刻胶,到底与日本还有多大差距?
光刻胶作为光刻环节的关键耗材,与光刻机、光掩膜并称为“光刻三剑客”。光刻胶在显影液中的动态表现,直接影响着电路绘制的精准度与质量。需知,光刻胶哪怕仅有1%的良率波动,都可能导致数千万美元的损失。
长期以来,全球光刻胶产业一直处于日本企业的垄断之下。像日本的东京应化工业(TOK)、合成橡胶(JSR)、信越化学、富士胶片等企业,它们合计占据了全球75%以上的市场份额,在高端极紫外(EUV)光刻胶领域的占比更是高达96.7%。
不过,随着中国光刻胶技术的不断发展,日本企业的垄断地位正面临着严峻挑战。《日本经济新闻网》曾报道称:“我们的市场份额正在被中国企业逐步蚕食。”那么国产光刻胶,到底与日本还有多大差距?

其实,中国半导体产业正在学习日本的发展模式。
当初,日本索尼从美国西方电气公司购买了晶体管的专利授权,开发出的索尼TR-55型号的微型收音机在日本国内外引起抢购,拉开了日本半导体产业的序幕。
日立、三菱、富士通、东芝、NEC五大公司联合日本科学家攻克电子束装置和微缩曝光装置、可变尺寸电子束装置、扫描装置和复印装置、基础材料等技术,在日本建立了半导体全产业链。后期日本两度受到美方压制,依然靠着供应链优势继续在芯片产业上扩张。

当下,中国半导体产业在借鉴日本发展经验的基础上,凭借官方资源与基金的支持,着力推动从上游原材料供应至后端制造的全产业链发展,并重点扶持了中芯国际、长江存储、中微半导体等行业领军企业。
相关产业统计数据表明,2023年中国光刻胶市场规模约达109.2亿元,至2024年已突破114亿元。在股票市场中,A股相关企业股价屡创新高,中芯国际股票迎来涨停潮,寒武纪股价在三个月内实现翻倍增长。这一发展态势,似是印证了“师夷长技以制夷”的理念。
除光刻胶等产品领域外,中国大硅片产业亦逐步打破了日本企业的市场垄断局面。当前,市场上95%的多晶硅以及96%的光伏硅片产能,均由中国企业供应。

今年,在美方对我国科技领域进行多方围追堵截之时,日方做出“落井下石”之举,突然宣布对我国实施极紫外(EUV)光刻胶出口管制。实事求是而言,我国目前在光刻胶领域的优势主要集中在中端市场,高端EUV光刻胶对于我国来说,仍是颇具挑战的难关。
面对日方这种不友好的举动,我方充分发挥智慧,选择“换道突围”的策略。武汉太紫微的T150A光刻胶,凭借自创的“分子烘焙法”巧妙绕开了日本专利。该光刻胶在中芯国际28纳米产线上表现卓越,芯片良率从89%一路提升至93.7%,以实实在在的数据证明了技术上的突破。
学界也传来令人欣喜的消息:北京大学彭海琳教授团队运用冷冻电镜技术,成功减少了光刻缺陷,为光刻胶材料研发开辟了新的途径。清华大学团队的“量子点光刻胶”已申请国际专利。这表明我们不再仅仅是追赶者,也在积极开创属于自己的技术路线。
历史早已证明,技术封锁或许能够在一定程度上延缓我国技术发展的进程,但无法磨灭中国突破重重桎梏的坚定决心。正如华为任总所言:“我们走在无人区,前面没有灯塔,但我们可以成为自己的灯塔。”