牛津仪器的等离子体处理设备，是得克萨斯州谢尔曼市与瑞典耶尔费拉市 6 英寸磷化铟（InP）晶圆厂产能爬坡的核心支撑。

等离子体处理解决方案提供商Oxford Instruments宣布，它将在支持业界首个用于光子器件的全自动6英寸InP晶圆制造能力方面发挥关键作用，该能力由化合物半导体和光网络解决方案制造商Coherent领导。

全自动、高通量等离子体处理设备是Coherent在德克萨斯州Sherman和瑞典Järfälla的6英寸InP晶圆厂扩建的核心；晶圆厂将在推动人工智能数据中心、电信和传感应用的进步方面发挥关键作用。这包括从800G到1.6T产品的过渡，这是满足人工智能互连和光通信日益增长需求的关键要求。

“多年来，我们一直是数据通信市场和相干InP等离子蚀刻设备的领先供应商，”牛津仪器等离子技术总经理Matt Kelly说。他补充说，他的公司的技术处于理想的位置，可以满足生成式人工智能应用的设备需求。

“Coherent向6英寸InP晶圆制造的转变标志着该行业的一个变革里程碑。牛津仪器在等离子体处理方面的专业知识对于使我们的Sherman和Järfälla晶圆厂达到世界级性能至关重要，”相干半导体器件执行副总裁Beck Mason说。

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