光刻机比较核心的光源系统中国解决了！ 极紫外线即EUV，把它用于光刻机雕刻是最理想的光源，但它难以捕捉！主要有以下原因。 一、是因为地球大气层里很难存在这种光，因为它往往会被大气层吸收。大气层中的臭氧层等成分会阻挡大部分极紫外线，这使得在地面能接收到的极紫外线很少，需要在太空或者高海拔地区等特殊位置去捕捉。 二、是极紫外线波长很短，在10 - 121纳米之间。即使有，这样短的波长它很容易被很多材料反射或者吸收，很难找到合适的光学元件来有效地聚焦和传输极紫外线，常规的透镜和反射镜对它的作用非常有限。能够制造提供稳定可靠的极紫外线成为一个非常困难的事情，别说用它做光刻机核心光源，说世界难题不为过。 就这样困难的事情，中国的科学家已经解决了！
光刻机比较核心的光源系统中国解决了！ 极紫外线即EUV，把它用于光刻机雕刻是最
咏棣评这个好的情感
2024-12-05 11:42:56
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李宗政
当时广为流传的光刻机厂就很靠谱。