光刻机决战！ 德国蔡司最近很狂，放话说他们的EUV光学镜片全球无人能仿。但中国

光刻机决战！

德国蔡司最近很狂，放话说他们的EUV光学镜片全球无人能仿。但中国工程师们听完都笑了——当年盾构机、高铁、空间站，哪个不是被这样"判死刑"的？现在哈工大的13.5nm极紫外光源已经量产，华卓精科的双工件台精度突破0.8纳米，就剩最后这块光学镜片硬骨头了！

看看无锡邑文电子干的好事！用原子层沉积技术（ALD）帮小米手机镜头消灭了鬼影，这技术放光刻机上就是"光学镀膜神器"。叶国光说得对，中国EUV整机问世根本不用十年，现在三路大军已经合围：

【光源部队】哈工大搞定的13.5nm光源，相当于给光刻机造出了"心脏"。这技术原本被Cymer公司垄断，现在咱们不仅能自产，能量转换效率还比他们高15%。上海微电子明年要试产的28nm光刻机，用的就是这套国产光源系统。

【精密机械突击队】华卓精科的双工件台有多牛？相当于在足球场上控制一粒芝麻，误差不能超过头发丝的万分之一！ASML的工件台要卖3000万欧元一套，现在国产的只要零头价。更绝的是长春光机所的物镜系统，已经能做到0.1纳米级镜面平整度。

【光学特战队】蔡司吹嘘的镜片确实厉害，但别忘了中国有全球最大的光学玻璃生产基地。成都光电所正在攻关的"离子束抛光技术"，能把镜面粗糙度控制在0.3纳米以下。最绝的是中科院研发的"自适应光学补偿"，就算镜片有点瑕疵，也能用算法实时修正。

光刻机这玩意确实变态，10万个零件里有一个不合格就全盘报废。但中国制造最擅长的就是"蚂蚁啃骨头"——上海微电子的28nm光刻机已经下线，北京华峰的KrF光刻胶通过验证，中微半导体的5nm刻蚀机早就卖到台积电。把这些拼图凑齐，EUV还远吗？

ASML总裁温彼得最近突然改口，说"中国迟早会造出EUV"。这话听着像认怂，其实是被无锡邑文的ALD镀膜技术吓到了。要知道他们当年赌中国搞不出DUV，现在长三角的晶圆厂都快被国产设备塞满了。

五年太久，只争朝夕！等中国EUV亮剑那天，荷兰人怕是要集体重温郑成功收复台湾的历史——有些堡垒，注定是要被攻克的！

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