日本四大光刻胶厂商东京应化、JSR、信越化学、富士电子材料同步对华收紧供应，停止ArF/EUV光刻胶新单，严控KrF新增订单，原有订单交付周期拉长至6-8个月，并全部撤回在华技术工程师。海关数据显示，国内日企光刻胶进口量从2025年一季度2200吨骤降至2026年一季度111.3吨，降幅95%，高端ArF/EUV胶连续五月零进口。

此次断供源于日本配合美方芯片管制，2025年末日方将高端光刻胶纳入出口许可，审批周期拉长、国内头部晶圆厂核查通过率近乎归零。不同于普通货物，光刻胶需原厂工程师现场调参适配产线，撤掉技术人员等同于锁死现有库存使用能力，意图限制国内先进制程发展，套路复刻2019年对日韩半导体材料制裁。

国内早已提前布局应对，大基金三期1600亿资金中18%投向光刻胶，地方叠加采购补贴加速国产化落地，国产光刻胶已批量落地产线：鼎龙股份高端KrF/ArF产线投产，多款产品适配28-14nm并获大额订单；南大光电为国内唯一量产ArF浸没式光刻胶企业，配套中芯、长存储能持续扩张；彤程新材KrF光刻胶国内市占超40%，晶瑞电材I线光刻胶成熟制程实现自主。

短板客观存在：EUV光刻胶仍被日方垄断，树脂、光酸剂等上游原料七成以上依赖进口，头部晶圆厂高端光刻胶库存仅支撑1至2个月，短期承压明显。

但日方已错失压制窗口期。断供倒逼国内晶圆厂加速国产验证，认证周期由2-3年压缩至半年到一年。国产产品完成导入后将形成长期客户粘性，日系厂商难以重回供应链，超两千吨市场份额将全面转向本土企业。