AST6200 实现了国产前道光刻机“从无到有”的量产突破，但在技术指标上相当于 ASML 30 年前的步进机水平（8 吋、步进式、DNQ 光刻胶）在高端硅基 12 吋晶圆厂中，AST6200 暂无竞争力；其当前落脚点在于实现 200mm 传统成熟制程及化合物半导体产线的国产化替代