


此前,业界普遍认为基于氮化铝(AlN)缓冲层的 HEMT 器件,其连续波(CW)输出功率难以超过6 W/mm。这导致许多人对该技术持怀疑态度,尽管 AlN 拥有极佳的导热性能,但实际输出功率却一直“拉胯”。
这次的突破在于:团队成功将输出功率提升至11.7 W/mm(在 50V 漏源电压下),几乎是此前记录的两倍。这直接证明了 6 W/mm 并非该技术的物理极限,而是一个可以通过工艺改进克服的障碍。

这次成功的关键在于同时解决了两个相互制约的难题:电流崩塌(Current Collapse)和击穿电压(Breakdown Voltage)。
传统困境:以往为了提升击穿电压(让器件更耐高压),往往会牺牲高频性能或导致电流崩塌(即电压升高时电流异常下降)。新方案:
材料结构:采用金属极性异质结构,生长在半绝缘 SiC(碳化硅)衬底上。外延层堆栈包括 AlN 缓冲层、未掺杂的 GaN 沟道和 AlGaN 势垒层。
关键改进:通过减少表面陷阱电荷(Surface Traps),团队在降低电流崩塌的同时,反而将击穿电压提升到了98 V。
热管理:测量显示,从 2DEG(二维电子气)沟道到 SiC 衬底的热阻仅为5.5 m²K/GW。这大约是传统 1.5 µm 厚 GaN 缓冲层 HEMT 热阻的三分之一。这意味着热量能更快地导出,是实现高功率输出的物理基础。



商业化时间表:依托美国本土供应链,Soctera 计划在今年年底(2026年底)推出首批可量产的功率放大器(PA)样品。
应用目标:专门针对下一代通信网络(如 5G/6G 基站、卫星通信等)。相比于传统方案,这种器件能显著减小设备的体积、重量和成本。
下一步研发:
源极连接场板(Source-connected field plates):用于进一步增强击穿电压和功率处理能力。
量产优化:目前团队正致力于扩大生产规模,提高晶圆良率和均匀性,为大规模量产做准备。

编者观点:
这项工作证明了 AlN 缓冲层 HEMT 不仅能拥有优异的散热能力,还能实现超高的功率密度。这对于追求高效率、高频率的射频和功率电子市场来说,是一个极具价值的技术路线。