随着国内晶圆厂扩产持续推进，国产光刻整机、光源、光学系统、配套材料零部件厂商陆续交出三季报预告，一批企业净利润迎来数倍级大增，业绩兑现印证国产替代逻辑持续落地。本文梳理出光刻机赛道三季报预增前6的企业。

1.富创精密

业绩预告：三季报扣非净利润同比增长844.0%

主营业务：半导体设备精密零部件龙头，为光刻机、刻蚀机、沉积设备提供精密工艺零部件、真空腔体、结构件、管路模块，是光刻设备上游核心配套供应商。

关联概念：光刻机、半导体设备零部件、国产替代、真空精密制造、先进封装。

核心亮点：晶圆厂扩产带动设备订单放量，精密结构件切入多家国产光刻设备厂商供应链，产能释放带来利润弹性，业绩增速遥遥领先。

2.大族激光

业绩预告：三季报扣非净利润同比增长304.9%

主营业务：激光设备龙头，布局光刻相关光刻整机、光刻配套曝光设备、激光光刻、掩膜版加工设备，覆盖面板光刻、半导体微纳加工光刻设备，同时配套半导体检测设备。

关联概念：光刻机、光刻整机、激光微纳加工、半导体设备、面板光刻。

核心亮点：半导体业务订单持续回暖，光刻相关微纳加工设备、曝光设备放量，叠加原有激光业务盈利修复，业绩实现大幅反转。

3.中船特气

业绩预告：三季报扣非净利润同比增长200.7%

主营业务：电子特种气体龙头，产品包含光刻配套用电子气体、氟类特种气体，是光刻工艺、晶圆刻蚀、薄膜沉积环节必不可少的工艺材料，服务国内多家晶圆厂与光刻产线。

关联概念：光刻机、电子特气、半导体材料、光刻工艺耗材、国产材料替代。

核心亮点：国内晶圆厂持续扩产，光刻、刻蚀环节特种气体需求稳步提升，进口替代加速，产品持续放量，盈利能力大幅提升。

4.*ST京化

业绩预告：三季报扣非净利润同比增长186.9%

主营业务：化工新材料企业，布局光刻胶配套原料、电子化学品，为光刻胶、半导体湿电子化学品提供上游关键原料。

关联概念：光刻机、光刻胶原材料、电子化学品、半导体耗材。

核心亮点：光刻胶上游材料需求回暖，原料价格、订单同步改善，带来业绩大幅增长。

5.波长光电

业绩预告：三季报扣非净利润同比增长116.9%

主营业务：光学元件龙头，专注光刻机光学系统、光刻光源配套光学镜头、光学元器件、精密光学模组，覆盖紫外光学、激光光学组件，是光刻光学环节核心供应商。

关联概念：光刻机、光学系统、光刻光源、精密光学元件、光学镜头。

核心亮点：国产光刻设备厂商光学零部件国产化采购提速，光学组件订单持续落地，业绩稳步高增。

6.鸿利智汇

业绩预告：三季报扣非净利润同比增长108.2%

主营业务：光电器件厂商，布局光刻配套光源、紫外光源模组、特种LED光源，面向光刻、曝光、半导体检测场景提供光源产品。

关联概念：光刻机、光刻光源、紫外光源、光电子器件。

核心亮点：光刻、微纳加工配套特种光源需求增长，同时车载、工业光电器件业务同步修复，驱动业绩翻倍增长。

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