尼康拟于2028财年推出新款浸没式ArF光刻机。尼康在其2025财年第三财季财报

代芹聊趣事 2025-02-21 13:19:49

尼康拟于2028财年推出新款浸没式ArF光刻机。

尼康在其2025财年第三财季财报演示文稿中透露，正与合作伙伴共同开发一款兼容ASML主导的浸没式ArF（ArFi）光刻生态的新型光刻机，预计于2028财年推出。

尼康认为，随着DRAM内存和逻辑半导体向三维发展，浸没式ArF光刻需求将持续增长。为吸引更多客户，尼康计划使新设备与ASML的同类设备生态兼容，方便用户从ASML平台迁移至尼康平台。此举旨在提升尼康在全球光刻机市场的份额，特别是在浸没式ArF领域。

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