外媒报道,中国自主研发的EUV机器采用激光诱导放电等离子体(LDP)技术,正在华为东莞工厂进行测试。 LDP技术路线,成本高,良率低,而且需要频繁停机,ASML也有LDP,因为没法高产,所以才用LPP。 不知道这个问题国内咋解决的……
外媒报道,中国自主研发的EUV机器采用激光诱导放电等离子体(LDP)技术,正在华
高旭的世界
2025-03-13 13:21:47
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静以致远
看到专业分析是成本更低,效率更高,体积更小,但存在稳定性等不佳等问题,要克服有困难
万千树海 回复 03-14 17:52
钓鱼贴吧,别管它
放下一切
胡说八道。它说的所有都调转180度。