“羲之”号诞生，北大清华情何以堪！ 中国首台电子束光刻机取名“羲之”，是因其光笔“书写”能力与晋代书家王羲之的毛笔神韵相契合。
这台设备一出来，大家就盯着它能不能“画”出顶级的芯片，但这其实只说对了一半。“羲之”真正的杀手锏，是它能为工业制造装上最敏感的“神经末梢”，引爆的是整个高端传感器市场。传感器这东西，就是让机器有感觉的关键，小到手机里的陀螺仪，大到自动驾驶汽车的激光雷达，都离不开它。
根据赛迪顾问8月刚发的《全球传感器市场报告》，在那些需要高精度、高稳定性的传感器领域，比如工业机器人、高端医疗设备，我们的国产化率连10%都不到，基本上就是被国外掐着脖子。
问题就出在制造工艺上，那些微米甚至纳米级别的精细结构，以前我们做不了。“羲之”这支“神笔”的出现，等于直接把工具递到了我们手上，高精度的微机电系统（MEMS）陀螺仪、医疗用的微流控芯片，这些过去只能靠进口的“金豆子”，现在我们自己也能造了。
这是中国制造2025战略里最缺的一环，为工业4.0的浪潮里，留下了浓重的一笔。
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