美国商务部长在与荷兰ASML高层会谈中，表达了对该公司最先进的EUV光刻机可能违规流入中国的关切。ASML发表书面声明强硬反驳，表示从未向中国出口过任何EUV光刻机及专门为其设计的零部件，并指出EUV设备体积庞大、产量有限且须由公司工程人员持续驻场维护，秘密转运在技术上几乎不可能。荷兰政府表示出口规则极为严格，目前未启动调查。
美国商务部长在与荷兰ASML高层会谈中，表达了对该公司最先进的EUV光刻机可能违规流入中国的关切。ASML发表书面声明强硬反驳，表示从未向中国出口过任何EUV光刻机及专门为其设计的零部件，并指出EUV设备体积庞大、产量有限且须由公司工程人员持续驻场维护，秘密转运在技术上几乎不可能。荷兰政府表示出口规则极为严格，目前未启动调查。
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