恭喜合肥长鑫存储科技!
长鑫存储(CXMT)在世界制造业大会上宣布,第五代DRAM技术平台(以下简称“G5平台”)实现量产,同步展出基于该平台打造的大容量LPDDR5X新品。长鑫存储表示,新平台工艺水平比肩行业顶尖量产工艺节点。
G5平台在关键工艺维度实现了多项行业领先的技术突破:依托创新的四重曝光技术,把内存阵列的有源区半间距微缩至11.95纳米,接近全球最顶尖的内存量产平台制程;通过变革工艺流程、采用新材料,存储电容深宽比达45:1;开发适配DRAM工艺的高介电常数金属栅(HKMG)工艺,成功将G5平台核心功能区高度缩小到6762纳米。
微缩工艺的突破推动了存储密度实现跨越式提升,每片晶圆产出裸片数量相比于之前的第四代平台提升至少50%,无论能效还是成本控制上,都有着更为明显的优势,为新一代产品带来了性能跃升。与此同时,长鑫存储在现有工艺模块的基础上,创造了独特的数字孪生系统,贯穿包括设计、开发、制造、维护等全生命周期的产品研发过程,在这一虚拟研发线中,搭建先进DRAM工艺模型,加速研发进程。另外在界面工程、鞍形鳍式结构、低k间隔层位线等核心工艺上,均实现了突破。
去年末,长鑫存储发布了LPDDR5X系列产品,最高速率达到了10667Mbps,最高颗粒容量16Gb,包括12GB、16GB、24GB、32GB等容量的多种封装解决方案,提供了8533Mbps和9600Mbps规格可选,另外还有容量为16GB和32GB的LPCAMM模组形态产品。这次长鑫存储在世界制造业大会展出了两款基于G5平台打造的LPDDR5X产品,单颗容量提高至24Gb,较上一代同类型产品提升50%,分别采用496Ball、245Ball封装规格,可适配中高端智能手机、便携式消费电子等不同场景需求,均已进入规模量产阶段。最近长鑫存储已正式量产LPDDR6产品,预计也将转向G5平台,通过新工艺进一步提升性能及能效表现。考虑到长鑫存储旗下也有DDR5产品,未来大概率还会带来DDR6产品,G5平台应该有更大的施展空间。
