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官宣了——能支撑国产 7nm 工艺的 国产 DUV 光刻机,已经在 25 年 5
2026-06-19 14:28:44
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官宣了——能支撑国产 7nm 工艺的 国产 DUV 光刻机,已经在 25 年 5 月交付
必然是浸没式的 DUV,初步解决了 ASML卡脖子的问题
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