先讲核心门槛：芯片清洗用18.25MΩ·cm超纯水，杂质控制到ppt级别（万亿分之一），普通净水、工业纯水企业完全做不了，国内能配套12寸先进晶圆厂的上市公司极少，分两大赛道：整套超纯水系统总包商、核心耗材膜/树脂材料商。

一、整套超纯水站EPC总包（直接给晶圆厂建全套产水系统，最贴合你的问题）

1、至纯科技 603690（行业第一，稀缺核心龙头）

1. 核心能力：国内最早批量供应12寸晶圆厂超纯水系统，能稳定做出18.2MΩ·cm电子级超纯水，适配14nm、7nm先进制程，是中芯、华虹、长鑫、长江存储核心供应商。

2. 业务逻辑：不单是造水设备，全套高纯流体管路+超纯水站一体化交付，晶圆清洗、刻蚀、沉积全工序供水全部覆盖，是芯片工厂“水电基建”刚需。

3. 稀缺性：A股少有的同时具备超纯水系统+半导体湿法清洗设备双资质企业，技术壁垒极高，中小水处理企业根本无法切入先进晶圆产线。

2、三达膜 688101（存储芯片配套龙头）

国内唯一给长江存储大规模交付超纯水系统的本土企业，累计给中芯国际交付47套纯水站，深耕8/12寸存储、逻辑晶圆厂，成熟制程全覆盖，超纯水+芯片废水回收双业务，客户粘性极强。

二、超纯水核心耗材（制造超纯水必需核心材料，卡脖子环节）

1、沃顿科技 000920（半导体反渗透膜国产独家）

做超纯水最关键的干式半导体RO膜，国内仅此一家能量产对标陶氏、东丽的高端膜元件，是超纯水设备的核心耗材；中芯、长鑫、长江存储全部采购，没有这款膜，就造不出合格芯片超纯水。

2、蓝晓科技 300487（抛光离子交换树脂龙头）

超纯水最后一道提纯必须用电子级抛光树脂，国内唯一实现工业化量产，用来去除水中微量金属离子，杂质超标会直接造成晶圆报废，国产替代空间巨大。

三、补充小众具备超纯水量产能力的企业

1. 泰坦科技 688133：子公司自研电子级超纯水，自产自用配套高纯试剂，少量供给小型晶圆厂，规模偏小；

2. 碧水源 300070：通用膜材料龙头，可做面板、成熟8寸厂纯水，无法适配7/14nm先进制程，技术壁垒弱于沃顿、至纯。

四、关键区分：为什么说这类公司非常稀缺？

1. 普通纯净水、工业纯水只需要去除泥沙、盐分；芯片超纯水要剔除离子、微粒、细菌、有机物、金属杂质，控制精度万亿分之一，整套工艺十几道提纯工序，研发、认证周期3-5年；

2. 晶圆厂认证门槛极高，必须连续稳定运行1-2年不出现水质波动，中小环保企业根本拿不到头部芯片厂订单；

3. 全球高端超纯水设备、膜材料长期被美国陶氏、日本东丽垄断，国内能实现批量供货的上市公司只有上面4家，属于典型细分稀缺赛道。

短线实操简单总结

1. 想抓整套超纯水设备、直接绑定晶圆厂建设：优先至纯科技、三达膜；

2. 想抓核心耗材卡脖子环节：沃顿科技（RO膜）、蓝晓科技（抛光树脂）；

3. 普通水处理、净水器企业完全不具备芯片超纯水技术，不要混淆跟风小票。

风险提示：以上内容仅行业逻辑梳理，不构成任何投资建议。