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国产化率仅10%!掩膜版大反攻 继光刻胶之后,芯片的"底片"掩膜版也被卡。据行

国产化率仅10%!掩膜版大反攻

继光刻胶之后,芯片的"底片"掩膜版也被卡。据行业统计,国产掩膜版整体国产化率仅10%,高端不足3%,ArF基板几乎为零,EUV基板仍在禁运。但路维光电28nm已供货,冠石科技55nm已小批量量产。我的判断:光刻材料全链条反攻,这才刚开场。