阿斯麦 CEO 曾说:中国光刻机技术落后 10-15 年,如果没有我们的 EUV 极紫外光刻帮助,中国几乎不能造出来 3-5nm 工艺,同时表示断供 EUV,就是为了防止中国获得先进技术。
当年阿斯麦 CEO 傅恪礼说出这番话时,底气不可谓不足,那时候阿斯麦垄断了全球EUV光刻机市场,一家独大,想买先进光刻机只能找它,它说卡谁脖子就卡谁脖子,说让谁落后就让谁落后,一副高高在上、掌握生杀大权的样子,好像中国半导体的命运,就攥在它手里一样,想怎么捏就怎么捏。
而且,当时中国确实在高端光刻机上差距很大,EUV完全是空白,DUV也只能做90nm以上的成熟制程,产业链也不完善,所以傅恪礼才敢说这话,才敢跟着美国断供EUV,觉得断了供,中国就永远追不上,就永远落后10-15年,就能一直躺着赚钱,一直垄断市场,高枕无忧。
可它万万没想到,断供不仅没卡死中国,反而把中国的自主研发给逼出来了,反而给自己培养了一个强劲的竞争对手,这脸打得,啪啪响,疼得很。
你看现在,才过了一年多,中国的光刻机就取得了突飞猛进的进展,快得超出了所有人的预料。
上海微电子的28nm浸没式DUV光刻机,已经实现了量产,开始批量交付给中芯国际等国内头部晶圆厂,良率能稳定在90%以上,虽然还比不上阿斯麦最先进的DUV机型,但也完全够用了,成熟制程的芯片,汽车、工控、家电用的芯片,完全能自己造,不用再看阿斯麦的脸色了,不用再被卡脖子了。
而且这还不算完,通过多重曝光工艺,28nm的光刻机,还能做到14nm甚至7nm的工艺,虽然成本高一点,效率低一点,良率也差点,但至少能造出来,能解决有无的问题,能满足大部分场景的需求,不会被人一卡就死,不会断供就瘫痪。
还有更厉害的,中国不走寻常路,搞了纳米压印光刻机,专门针对光芯片、存储芯片这些领域,绕开了传统的深紫外光刻路线,直接实现了8英寸晶圆的规模化量产,成本比传统DUV低九成,这相当于另辟蹊径,在新赛道上实现了弯道超车,阿斯麦想卡都卡不住,因为它自己在这个赛道上也没什么优势,也没什么技术积累。
现在反倒是阿斯麦自己,日子越来越不好过了,断供中国之后,它丢了全球最大的光刻机市场,销量暴跌,利润下滑,股价也跌了不少,之前躺着赚钱、供不应求的日子,一去不复返了。
而且中国的光刻机起来之后,价格只有阿斯麦的三分之一甚至更低,直接击穿了它的价格体系,让它再也不能漫天要价了,再也不能搞饥饿营销了,以前买它的光刻机,得排队等好几年,还得搭配各种服务,求着它卖,现在反过来了,它得求着客户买,还得降价促销,还得提供各种优惠,风水轮流转,转得也太快了。
更讽刺的是,傅恪礼之前说断供是为了防止中国获得先进技术,结果呢?中国不仅没被挡住,反而进步更快了,反而把整个半导体产业链都带动起来了,从光刻机到刻蚀机、沉积设备、离子注入机,再到光刻胶、靶材、特种气体,再到芯片设计、封装测试,全产业链都在突破,都在加速自主可控,等于说断供反而帮了中国一把,帮我们下定了自主研发的决心,帮我们打通了全产业链。
不过,我们也得清醒地认识到,我们在高端EUV光刻机上,还有不小的差距,还得继续努力,不能骄傲,不能松懈,一步一个脚印,扎扎实实搞研发,踏踏实实搞产业,总有一天,我们能造出自己的EUV光刻机,能彻底摆脱卡脖子,能在半导体领域,真正站在世界之巅,真正掌握自己的命运。
