中科院微电子所研发出了在利用DUV光刻机实现GAA的方式,不需要EUV光刻机也能实现3纳米。中科院微电子所在FinFET和GAA方面的研发很深,且是能量产的那种级别,在前几年已经开始向海外收专利费了。