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荷兰光刻设备巨头ASML称,在美国技术封堵之下,中国企业想拿到EUV光刻机几乎没

荷兰光刻设备巨头ASML称,在美国技术封堵之下,中国企业想拿到EUV光刻机几乎没有可能,但中国从未停下攻关脚步,相关研发投入年增速据称超过20%。真正让西方紧张的,并非中国今天买不到什么,而是明天还会不会再买。
7月7日,荷兰贸易大臣斯约尔德·斯约尔德斯马出现在北京。这个画面很有意思:一边是华盛顿催促荷兰继续收紧对华芯片设备限制,另一边是荷兰官员主动来华处理安世半导体争端、修复经贸关系。ASML看似掌握着光刻机命门,荷兰却不敢真把中国市场一刀切掉。
就在访华前两周,荷兰方面已经公开对美国表达不满。6月23日,斯约尔德斯马在华盛顿直言,美国国会推动的MATCH法案,可能让美国接管本应由荷兰决定的出口政策;如果合作变成强迫,荷兰无法接受。这不是替中国说话,而是荷兰开始发现,美国拿盟友的产业利益给自己的科技霸权垫脚。
ASML最尴尬的地方正在这里。它靠全球化供应链成长起来,产品卖给谁,本应服从荷兰法律和商业合同,现在却要看美国政客的脸色。美国没有生产EUV整机,却试图决定荷兰设备能否出售、能否维修、工程师能否进厂服务,甚至想把本国管制延伸到第三国企业身上。
今年4月,美国跨党派议员抛出的MATCH法案,目标已经不只限于EUV。法案还想阻止ASML向中芯国际、华虹、华为、长江存储、长鑫存储等中国企业出售和维护部分浸没式DUV设备。机器不卖只是第一层,连已经装进厂房的设备也不准正常保养,才是华盛顿正在谋划的狠招。
这等于把商业设备变成遥控武器。光刻机不是买回去就能永久运转,镜头校准、工件台维护、软件升级、光源更换都需要持续服务。美国若能切断售后,就能让中国晶圆厂现有产线逐步掉速,进而干扰通信、人工智能、汽车电子和高端装备产业。
由此也能看出,美国封锁的目标从来不只是“阻止中国制造最先进芯片”。它更想让中国在成熟制程、存储芯片和先进封装领域也长期依赖西方设备。只要中国企业每扩建一条产线都要等许可证,华盛顿就能把技术审批变成政治筹码,在关税、台海和经贸谈判中随时加码。
问题在于,中国企业早已不是站在原地等待放行。拿不到最新EUV,就先把现有DUV设备性能榨到极致,通过多重曝光、计算光刻、工艺协同和先进封装继续向前推进。这种路线成本更高、步骤更多,却能换来时间,也能为国产设备争取进入生产线验证的机会。
6月19日又发生了一件荒唐事。美国官员怀疑一台ASML的EUV设备可能已经进入中国,ASML不得不公开否认,称公司从未向中国交付EUV整机,也没有出口专门用于EUV系统的组件。如此庞大、重达约180吨的设备,美国竟然也能炒作成“可能神秘流入”,足见其焦虑已经到了草木皆兵的程度。
真正让美国不安的,并不是中国从某条秘密渠道弄来一台现成机器。单台设备解决不了光刻胶、掩模、光学镜片、测量、良率和产能问题。华盛顿担心的是,中国正在把这些分散的短板组织成一套完整体系,一旦体系形成,出口许可证就会从威慑工具变成一张废纸。
国产替代也不能只盯着光刻机这个最耀眼的环节。6月,武汉总投资25亿元的半导体装备基地投产,第二代CMP设备推进验证,并计划年内实现批量生产。CMP负责晶圆平坦化,看起来没有EUV那么吸引眼球,却直接关系芯片良率。缺少任何一道关键设备,先进产线都转不起来。
这也是国家大基金三期设立3440亿元注册资本的现实背景。过去一些地方热衷于建厂房、上晶圆项目,现在资金和产业资源必须更多转向设备、材料、零部件及验证平台。中国要补的不是一个孤立产品,而是几千家供应商之间的协同能力,以及十几年持续迭代的耐心。
ASML当然仍有巨大优势。它计划在2026年交付约60台低数值孔径EUV设备,比2025年增加约25%,一台先进系统的价格可达数亿美元。其背后还有德国蔡司光学系统和遍布欧美日的精密供应商,中国短期内不可能靠几个实验室成果就完成全面追赶。
可ASML的优势越大,美国的控制欲也越强。2025年中国占ASML销售额约33%,公司预计2026年降至约20%。华盛顿认为人工智能热潮足以让其他客户填补空缺,所以敢继续逼ASML舍弃中国订单。可一旦全球芯片扩产放缓,被政治力量赶走的市场未必还能回来。
荷兰政府如今已经意识到这种风险。美国嘴上讲“盟友协调”,实际要求荷兰牺牲企业收入、承担中国反制,却把规则解释权牢牢抓在自己手里。7月荷兰贸易大臣访华,既是处理安世半导体问题,也是在给中荷经贸关系保留缓冲区,避免所有芯片议题都被美国绑架。